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钛靶材
钛靶材 纯钛圆靶 镀膜靶
发布时间：2020/04/07 点击量：
钛靶材
1.从用材上分：板靶，管靶，圆靶
2.从用途上分：工具镀，装饰镀
3.真空镀膜分为：溅射镀，离子镀膜，蒸发镀膜
装饰镀：是为了改善工件外观装饰性能和色泽，同时使工件更耐磨耐腐蚀，延长其寿命； 这方面主要用于五金行业各个领域（如门窗五金，锁具，卫浴五金等行业）。
工具镀：主要目的是为了提高工件表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系数，提高工件的使用寿命。
钛阳极，主要用于化工，电镀行业，污水处理。
| 品 名 | 纯度 | 密度 | 镀膜优势色 | 形状 | 常规尺寸 | 应用行业 |
| 钛铝（TiAl）合金靶 | 2N8-4N | 3.6-4.2 | 玫瑰金/咖啡色 | 圆柱形 |
直 径 60/65/95/100*30/32/40/45mm |
装 饰 / 工 具 |
| 纯铬（Cr）靶 | 2N7-4N | 7.19 | 白色/黑色 | 圆柱形 | ||
| 纯钛（Ti）靶） | 2N8-4N | 4.51 |
金黄色/枪黑色 蓝色/玫瑰红 |
圆柱形 | ||
| 纯锆（Zr）靶 | 2N5-4N | 6.5 | 金色 | 圆柱形 | ||
| 纯铝（Al））靶 | 4N-5N | 2.7 | 银色 | 圆柱形 | ||
| 纯镍（Ni）靶 | 3N-4N | 8.9 | 金属本色 | 圆柱形 | ||
| 镍钒（Ni）靶 | 3N | 8.57 | 蓝绿色 | 圆柱形 | ||
| 纯铌（Nb）靶 | 3N | 8.57 | 白色 | 圆柱形 | ||
| 纯钽（Ta）靶 | 3N5 | 16.4 | 黑色/紫色 | 圆柱形 | ||
| 纯钼（Mo）靶 | 3N5 | 10.2 | 黑色 | 圆柱形 |
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。
不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶
粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
