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钛靶材
钛合金靶材
发布时间：2020/03/29 点击量：
靶 材：1.从用材上分：板靶，管靶，圆靶
2.从用途上分：工具镀，装饰镀
3.真空镀膜分为：溅射镀，离子镀膜，蒸发镀膜
靶材的主要性能要求
纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。
不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶
粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
宝鸡市博杰金属材料有限公司官网：www.bojieti.com.根据您的图纸和要求，与客服沟通技术要求，客服不在线请拨打我公司客服电话：0917-3376329 18791788337郭经理 13991576185王经理。技术交流无疑问后，我公司提供钛锻件、异形件详情报价表。双方协定合同内容，签订合同按合同执行供货需求。
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